大きい

メタレンズは通常、電子ビーム リソグラフィーを使用して作成されます。電子ビーム リソグラフィーでは、集束された電子ビームがガラスまたはその他の透明な基板上で走査され、アンテナのようなパターンが点ごとに作成されます。 ただし、各点のスキャンには時間がかかり、スループットが低いため、電子ビームのスキャン プロセスでは、作成できるレンズのサイズが制限されます。

メタレンズのサイズが大きくなるにつれて、パターンの処理に必要なデジタル ファイルが大幅に大きくなり、DUV リソグラフィー マシンの処理に長い時間がかかるようになりました。 この問題を克服するために、研究者らはデータ近似を使用し、一意でないデータを参照することによってファイルを圧縮しました。「ファイル サイズを削減するためにあらゆる方法を利用しました」と Ni 氏は述べています。 「同一のデータポイントを特定し、既存のデータポイントを参照し、メタレンズを作成する機械に送信できる使用可能なファイルができるまで、徐々にデータを減らしました。」 新しい製造方法を使用して、研究者らは単レンズ望遠鏡を開発し、鮮明な画像を撮影しました。月面の観察 — 以前のメタレンズよりも物体の解像度が向上し、撮像距離がはるかに長くなりました。 この技術を最新のカメラに適用する前に、研究者は色収差の問題に対処する必要がある、とペンシルベニア州立大学のチームメンバーは述べた。 Ni氏によると、研究者らは可視域での設計を検討しており、色収差を含むさまざまな光学収差を補正する予定であるという。この研究はNano Letters (www.doi.org/10.1021/acs.nanolett.2c03561)に掲載された。